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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡該系統(tǒng)是一個(gè)完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉(zhuǎn)1100°，精度可達(dá)到0.025°。

顯微鏡物鏡掃描臺(tái)：上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

大功率/高壓壓電促動(dòng)器精密定位平臺(tái)，昊量光電推出各種大功率/高壓壓電促動(dòng)器產(chǎn)品，具有高負(fù)載力，高共振頻率，大行程等特點(diǎn)，是材料表征，傳感器測(cè)試，脈沖發(fā)生等領(lǐng)域的有力工具。

半導(dǎo)體/薄膜無(wú)損檢測(cè)儀：半導(dǎo)體行業(yè)為我們周圍遇到的大多數(shù)電子設(shè)備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進(jìn)行多次薄膜沉積，。

納米精度電動(dòng)平移臺(tái)。電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

納米精度電動(dòng)升降臺(tái).，電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。$n該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號(hào)，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的Z大速度可達(dá)到400m

超小型亞微米AF自動(dòng)聚焦模塊是集成了微型壓電馬達(dá)、內(nèi)置控制器、位移傳感器和微處理器于一體的微機(jī)械模塊。

單軸壓電掃描臺(tái)/納米平移臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

超緊湊線性平移臺(tái)（亞微米）是集動(dòng)力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上Z小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動(dòng)、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。