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應(yīng)用領(lǐng)域	電子	隔振頻率	0.5Hz-100Hz

桌面式主動隔震平臺/隔振臺

以色列K&S公司主動隔震平臺/隔振臺

精密儀器設(shè)備、顯微鏡高性能隔振

ArisTT系列-桌面式主動隔振臺

ArisMD系列-模塊式主動隔振臺

昊量光電新推出AFM、STM、臺式掃描電鏡、數(shù)字顯微鏡，SEM/TEM等的主動隔振解決方案，采樣*解耦的結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效隔離了來自地板的振動和由工具產(chǎn)生的振動，實(shí)現(xiàn)六自由度主動隔振，體積小質(zhì)量輕負(fù)載能力強(qiáng)，易于集成到各類工作環(huán)境中，有效改善顯微鏡性能和圖像質(zhì)量。

桌面式主動隔震平臺/隔振臺產(chǎn)品實(shí)圖：

透過率曲線：

桌面式主動隔震平臺/隔振臺主要特點(diǎn)：

六自由度

隔振頻率0.5Hz-100Hz

可變阻尼

內(nèi)置人工智能特性

可通過軟件激活帶寬

遠(yuǎn)程控制

內(nèi)置實(shí)時頻譜診斷和分析工具

允許測試目標(biāo)系統(tǒng)或設(shè)備在不同振動條件下的性能

調(diào)整不同的頻率和振幅

再現(xiàn)真實(shí)環(huán)境條件，驗(yàn)證目標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)部組件對振動的響應(yīng)

內(nèi)置的能力收集和分析數(shù)據(jù)

ARISTT（桌面式主動隔振臺）系列規(guī)格：（原子力顯微鏡，生物顯微鏡，半導(dǎo)體等）

型號	款式	隔振原理	外觀尺寸（mm）	負(fù)載（Kg）
ARISTT75I	桌面式	主動隔振	300x450x65	15-75
ARISTT75	桌面式	主動隔振	300x450x80	15-75
ARISTT75X	桌面式	主動隔振	400x500x80	15-75
ARISTT100	桌面式	主動隔振	400x500x80	40-100
ARISTT150	桌面式	主動隔振	400x500x80	70-150
ARISTT180	桌面式	主動隔振	500x600x80	80-180
ARISTT200	桌面式	主動隔振	600x800x80	90-200
ARISTT180-M	桌面式	主動隔振	500x600x80	可定制
ARISTT200-M	桌面式	主動隔振	600x800x80	可定制

實(shí)時分析工具：內(nèi)置實(shí)時2通道示波器，實(shí)時2通道頻譜分析儀

實(shí)時性能調(diào)整：所有6個自由度的實(shí)時/遠(yuǎn)程訪問自適應(yīng)控制

工作電壓：AC 80-260V/50-60Hz

架構(gòu)：MVIS多層隔振結(jié)構(gòu)

ARISDD系列規(guī)格：（SEM，TEM，F(xiàn)IB，半導(dǎo)體等）

型號	款式	隔振原理	外觀尺寸（mm）	負(fù)載（Kg）
ARISMD300	模塊式	主動隔振	270x230x75	100-300/個
ARISMD500	模塊式	主動隔振	270x230x75	200-500/個
ARISMD1000	模塊式	主動隔振	370x230x75	500-1000/個
ARISMDP300	模塊式	主動隔振	230x230x75	100-300/個
ARISMDP500	模塊式	主動隔振	230x230x75	200-500/個

實(shí)時分析工具：內(nèi)置實(shí)時2通道示波器，實(shí)時2通道頻譜分析儀

ARISTT系列應(yīng)用案例：

ARISMD系列應(yīng)用案例：

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桌面式主動隔震平臺/隔振臺

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